Grinding apparatus and grinding method

WO2015198635 Art A1 30. Dezember 2015

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2015198635
Aktenzeichen
EP15811400
Anmeldetag
26. Februar 2015
Veröffentlichung
30. Dezember 2015
Rechtsraum
WO
IPC
B24B49/02B24B7/17B24B41/047B24B47/12B24B49/10G01B21/22H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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