Sample introduction method, sample stage, and charged particle beam device

WO2015198968 Art A1 30. Dezember 2015

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2015198968
Aktenzeichen: EP15812372
Anmeldetag: 18. Juni 2015
Veröffentlichung: 30. Dezember 2015
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20G01N1/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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