Plane grating-based system for measuring large-stroke movement of wafer bench

WO2016000496 Art A1 7. Januar 2016

Anmelder: Tsinghua University, U-precision Tech Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016000496
Aktenzeichen: EP15815831
Anmeldetag: 19. Mai 2015
Veröffentlichung: 7. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tsinghua University
U-precision Tech Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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