Elektrische Spule

WO2016000833 Art A1 7. Januar 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016000833
Aktenzeichen
EP15734301
Anmeldetag
25. Juni 2015
Veröffentlichung
7. Januar 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01F27/28G03F7/20H02K3/24H01F27/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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