Optical element, optical manipulator, projection lens and projection exposure apparatus

WO2016001092 Art A1 7. Januar 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016001092
Aktenzeichen: EP15733688
Anmeldetag: 26. Juni 2015
Veröffentlichung: 7. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20C03C3/06C03C4/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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