Method for evaluating organic material contamination on surface of semiconductor substrate and use of same

WO2016002273 Art A1 7. Januar 2016

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016002273
Aktenzeichen: EP15815516
Anmeldetag: 25. März 2015
Veröffentlichung: 7. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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