Mgo-based ceramic film, member for semiconductor production apparatus, and method for producing mgo-based ceramic film

WO2016002480 Art A1 7. Januar 2016

Anmelder: NGK Insulators, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016002480
Aktenzeichen: EP15815616
Anmeldetag: 12. Juni 2015
Veröffentlichung: 7. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C23C4/10H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK Insulators, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von