Laser device, euv generation system, and method for controlling laser device

WO2016002648 Art A1 7. Januar 2016

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016002648
Aktenzeichen: EP15815860
Anmeldetag: 26. Juni 2015
Veröffentlichung: 7. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/134H01L21/027H01S3/00H01S3/097H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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