Fluid device, method for controlling fluid, inspection device, inspection method, and method for manufacturing fluid device

WO2016002847 Art A1 7. Januar 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016002847
Aktenzeichen: EP15815859
Anmeldetag: 1. Juli 2015
Veröffentlichung: 7. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B01J19/00B81B3/00B81C3/00C12M1/00F16K7/17G01N35/08G01N37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Pharma & Biotechnologie Verfahrens- & Trenntechnik

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