Aqueous and semi-aqueous cleaners for the removal of post-etch residues with tungsten and cobalt compatibility
WO2016003729
Art A1
7. Januar 2016
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016003729
- Aktenzeichen
- EP15815471
- Anmeldetag
- 24. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 7. Januar 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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