Apparatus and method for self-regulating fluid chemical delivery

WO2016003891 Art A1 7. Januar 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016003891
Aktenzeichen: EP15815604
Anmeldetag: 29. Juni 2015
Veröffentlichung: 7. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B01J4/00B01J4/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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