Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit Mikro- oder Nanostrukturen

WO2016005464 Art A1 14. Januar 2016

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016005464
Aktenzeichen: EP15744490
Anmeldetag: 8. Juli 2015
Veröffentlichung: 14. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/768H01L23/482H01L21/3205H01L23/525H01L23/00B81B3/00B81B7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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