Actuator, positioning device, lithographic apparatus, and method for manufacturing an actuator

WO2016005568 Art A1 14. Januar 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016005568
Aktenzeichen: EP15736501
Anmeldetag: 10. Juli 2015
Veröffentlichung: 14. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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