Method of manufacturing a substrate

WO2016007088 Art A1 14. Januar 2016

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology, Nanyang Technological University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016007088
Aktenzeichen: EP15819619
Anmeldetag: 6. Juli 2015
Veröffentlichung: 14. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/8238H01L21/02H01L27/00H01L27/092

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Massachusetts Institute of Technology
Nanyang Technological University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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🇸🇬 Nanyang Technological University

Die Nanyang Technological University ist eine staatliche Forschungsuniversität in Singapur, die in den Bereichen Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologie international hoch angesehen ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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