Negative tone developer compatible photoresist composition and methods of use

WO2016007303 Art A1 14. Januar 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016007303
Aktenzeichen: EP15819054
Anmeldetag: 25. Juni 2015
Veröffentlichung: 14. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/039G03F7/004

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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