Vacuum ultraviolet light source device, light irradiation device and method for patterning self-assembled monomolecular film

WO2016009624 Art A1 21. Januar 2016

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016009624
Aktenzeichen: EP15822561
Anmeldetag: 9. Juli 2015
Veröffentlichung: 21. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J61/90B01J19/12H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

559 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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