Encoder device, drive device, stage device, and robot device

WO2016010141 Art A1 21. Januar 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016010141
Aktenzeichen: EP15821864
Anmeldetag: 17. Juli 2015
Veröffentlichung: 21. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01D5/245

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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