Semiconductor Process Carrier

WO2016010158 Art A1 21. Januar 2016

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Carrier Integration Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016010158
Aktenzeichen
EP15821338
Anmeldetag
14. Juli 2015
Veröffentlichung
21. Januar 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Carrier Integration Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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