Thin film deposition apparatus and method

WO2016010185 Art A1 21. Januar 2016

Anmelder: Research & Business Foundation Sungkyunkwan University 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016010185
Aktenzeichen: EP14897653
Anmeldetag: 4. August 2014
Veröffentlichung: 21. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/44C23C16/06C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Research & Business Foundation Sungkyunkwan University
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Research & Business Foundation Sungkyunkwan University

Die Research & Business Foundation Sungkyunkwan University ist die Technologietransfer- und Patentverwertungsstelle der südkoreanischen Sungkyunkwan-Universität. Das Portfolio streut breit über Medizintechnik, Halbleiter und Nachrichtentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Mess- und Softwaretechnik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2011 bis 2025.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von