Calibration Of Photoelectromagnetic Sensor in A Laser Source

WO2016010673 Art A1 21. Januar 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016010673
Aktenzeichen: EP15821410
Anmeldetag: 18. Juni 2015
Veröffentlichung: 21. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20B23K26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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