Methods and apparatus for depositing a cobalt layer using a carousel batch deposition reactor

WO2016011352 Art A1 21. Januar 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016011352
Aktenzeichen: EP15822259
Anmeldetag: 17. Juli 2015
Veröffentlichung: 21. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/06C23C16/14C23C16/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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