Cylindrical-member-position detection device, substrate processing device, device manufacturing method, and sheet substrate conveying device

WO2016013417 Art A1 28. Januar 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016013417
Aktenzeichen: EP15824991
Anmeldetag: 10. Juli 2015
Veröffentlichung: 28. Januar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01D5/244G01D5/36G03F7/24G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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