Vacuum arc deposition device and vacuum arc deposition method

WO2016013459 Art A1 28. Januar 2016

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016013459
Aktenzeichen
EP15825137
Anmeldetag
14. Juli 2015
Veröffentlichung
28. Januar 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/24C23C14/06H05H1/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissin Electric Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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