High Resolution High Quantum Efficiency Electron Bombarded Ccd Or Cmos Imaging Sensor
WO2016014318
Art A1
28. Januar 2016
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016014318
- Aktenzeichen
- EP15825314
- Anmeldetag
- 15. Juli 2015
- Veröffentlichung
- 28. Januar 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L27/146
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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