Pattern height measurement device and charged particle beam device

WO2016016957 Art A1 4. Februar 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016016957
Aktenzeichen: EP14898886
Anmeldetag: 30. Juli 2014
Veröffentlichung: 4. Februar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/02G01B15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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