Inline concentration measurement device
WO2016017122
Art A1
4. Februar 2016
Anmelder: Tokushima University, Fujikin Incorporated 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016017122
- Aktenzeichen
- EP15826957
- Anmeldetag
- 23. Juli 2015
- Veröffentlichung
- 4. Februar 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/15G01N21/03G01N21/05G01N21/27G01N21/3504
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tokushima University
Fujikin Incorporated - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujikin
Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.
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