Method for separating and recovering alkylene glycol monoalkyl ether, method for recycling liquid waste from processing of resist composition, and method for recycling resist composition processing liquid

WO2016017387 Art A1 4. Februar 2016

Anmelder: Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016017387
Aktenzeichen: EP15826782
Anmeldetag: 8. Juli 2015
Veröffentlichung: 4. Februar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C07C41/42B01D3/00C07C41/44C07C43/13G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Organische Chemie Verfahrens- & Trenntechnik

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