Low-temperature formation of silicon and silicon oxide structures

WO2016018144 Art A1 4. Februar 2016

Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016018144
Aktenzeichen
EP15751142
Anmeldetag
22. Juli 2015
Veröffentlichung
4. Februar 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C23C18/12C08G77/60C09D4/00C09D183/16C23C18/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Technische Universiteit Delft
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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