Apertureless cantilever-free tip arrays for scanning optical lithography and photochemical printing

WO2016018880 Art A1 4. Februar 2016

Anmelder: Northwestern University, The Hong Kong Polytechnic University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016018880
Aktenzeichen: EP15827567
Anmeldetag: 28. Juli 2015
Veröffentlichung: 4. Februar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/01G01Q70/06B05D3/12G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Northwestern University
The Hong Kong Polytechnic University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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