Detection method, shape measurement method, shape measurement device, structure production method, structure production system, and shape measurement program

WO2016020966 Art A1 11. Februar 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016020966
Aktenzeichen: EP14899346
Anmeldetag: 4. August 2014
Veröffentlichung: 11. Februar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/25

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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