Method for final polishing of silicon wafer, and silicon wafer

WO2016021117 Art A1 11. Februar 2016

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016021117
Aktenzeichen: EP15829366
Anmeldetag: 13. Juli 2015
Veröffentlichung: 11. Februar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00B24B37/24C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

1.022 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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