Element, insulating film, method for producing same, and radiation sensitive resin composition
WO2016024425
Art A1
18. Februar 2016
Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016024425
- Aktenzeichen
- EP15831266
- Anmeldetag
- 14. Mai 2015
- Veröffentlichung
- 18. Februar 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/023C08G8/10G03F7/075G09F9/30H01L51/50H05B33/10H05B33/12H05B33/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- JSR Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JSR Corporation
JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.
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