Optisches Element mit einer Beschichtung zur Beeinflussung von Heizstrahlung und Optische Anordnung

WO2016026626 Art A1 25. Februar 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016026626
Aktenzeichen: EP15739258
Anmeldetag: 16. Juli 2015
Veröffentlichung: 25. Februar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/00G02B7/18G02B5/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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