Extreme ultraviolet light generation system and extreme ultraviolet light generation method

WO2016027346 Art A1 25. Februar 2016

Anmelder: Institute for Laser Technology, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016027346
Aktenzeichen: EP14900031
Anmeldetag: 21. August 2014
Veröffentlichung: 25. Februar 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Institute for Laser Technology
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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