Encoder system calibration method, object positioning system, lithographic apparatus and device device manufacturing method

WO2016030090 Art A1 3. März 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016030090
Aktenzeichen: EP15742000
Anmeldetag: 23. Juli 2015
Veröffentlichung: 3. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01D5/244G01D18/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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