Method for controlling a distance between two objects, inspection apparatus and method

WO2016030227 Art A1 3. März 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016030227
Aktenzeichen: EP15754154
Anmeldetag: 18. August 2015
Veröffentlichung: 3. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G01B11/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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