Laser-driven photon source and inspection apparatus including such a laser-driven photon source

WO2016030485 Art A1 3. März 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016030485
Aktenzeichen: EP15760122
Anmeldetag: 27. August 2015
Veröffentlichung: 3. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/956H01J65/04H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von