Laser irradiation apparatus and laser irradiation method
WO2016031019
Art A1
3. März 2016
Anmelder: Kyushu University, National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016031019
- Aktenzeichen
- EP14900698
- Anmeldetag
- 28. August 2014
- Veröffentlichung
- 3. März 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/22H01L21/265
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Kyushu University, National University Corporation
Gigaphoton Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Kyushu University
Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.
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