Method for producing substrate with fine uneven pattern, and substrate with fine uneven pattern obtained thereby

WO2016031237 Art A1 3. März 2016

Anmelder: Mino Group Co., Ltd., Tohoku University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016031237
Aktenzeichen: EP15837011
Anmeldetag: 25. August 2015
Veröffentlichung: 3. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Mino Group Co., Ltd.
Tohoku University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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