Charged particle beam device equipped with stage device capable of measuring weight

WO2016031508 Art A1 3. März 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016031508
Aktenzeichen: EP15835552
Anmeldetag: 5. August 2015
Veröffentlichung: 3. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/20H01J37/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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