Photosensitive resin composition for forming interlayer insulating film, interlayer insulating film and method for forming interlayer insulating film

WO2016031580 Art A1 3. März 2016

Anmelder: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016031580
Aktenzeichen: EP15836338
Anmeldetag: 12. August 2015
Veröffentlichung: 3. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/023G03F7/004G03F7/075G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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