Piezoelectric element-driven valve and flow-rate control device including piezoelectric element-driven valve

WO2016035262 Art A1 10. März 2016

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016035262
Aktenzeichen: EP15837826
Anmeldetag: 17. August 2015
Veröffentlichung: 10. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: F16K31/02F16K7/14H01L41/053H01L41/083H01L41/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik

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