Semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method

WO2016035449 Art A1 10. März 2016

Anmelder: Sumitomo Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016035449
Aktenzeichen: EP15837320
Anmeldetag: 8. Juli 2015
Veröffentlichung: 10. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/448C30B25/14C30B29/38H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Sumitomo Chemical Company, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Petrochemie, Agrochemie, Pharmazeutika, Elektronikmaterialien, Energiematerialien und Kunststoffen.

4.352 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von