Water-reactive al composite material, water-reactive al alloy spray film, method for manufacturing al alloy spray film and constituent member for film deposition chamber
WO2016035599
Art A1
10. März 2016
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016035599
- Aktenzeichen
- EP15837469
- Anmeldetag
- 24. August 2015
- Veröffentlichung
- 10. März 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C4/06C22C21/02C23C14/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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