Processing system and device manufacturing method

WO2016035842 Art A1 10. März 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016035842
Aktenzeichen: EP15838707
Anmeldetag: 3. September 2015
Veröffentlichung: 10. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00B65G49/06G03F7/20G03F7/24H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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