Multi electron beam inspection apparatus
WO2016036246
Art A2
10. März 2016
Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016036246
- Aktenzeichen
- EP15781451
- Anmeldetag
- 3. September 2015
- Veröffentlichung
- 10. März 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Technische Universiteit Delft
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
569 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.