Pattern edge placement predictor and monitor for lithographic exposure tool

WO2016036790 Art A2 10. März 2016

Anmelder: Nikon Corporation, Tyminski, Jacek K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016036790
Aktenzeichen: EP15837546
Anmeldetag: 2. September 2015
Veröffentlichung: 10. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/60

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
Tyminski, Jacek K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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