Method and apparatus for forming porous silicon layers

WO2016037110 Art A1 10. März 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016037110
Aktenzeichen
EP15837915
Anmeldetag
4. September 2015
Veröffentlichung
10. März 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01L31/18H01L31/0392H01L31/0224H01L31/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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