Vacuum processing device

WO2016039261 Art A1 17. März 2016

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016039261
Aktenzeichen: EP15840128
Anmeldetag: 4. September 2015
Veröffentlichung: 17. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B65G49/00B65G49/06H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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