Object table, lithographic apparatus and device manufacturing method

WO2016041731 Art A1 24. März 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016041731
Aktenzeichen: EP15756137
Anmeldetag: 20. August 2015
Veröffentlichung: 24. März 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/687C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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